国外研发超高灵敏度mems加速度传感器——赛斯维传感器网-ag尊龙凯时·中国官方网站

1.国外研发超高灵敏度mems加速度传感器

据悉，近日，东京工业大学校长益一哉等人与ntt尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的mems(微机电系统)加速度传感器，实现了1微(μ)g级(g=9.8m/s2，重力加速度)的高分辨率检测。

mems(micro-electro mechanical system)就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔tsv 等技术把器件固定在硅晶元上，最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。受益于普通传感器无法企及的ic硅片加工批量化生产带来的成本优势，mems又具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度。

mems微机电系统结合兼容传统的半导体工艺，采用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术，批量化生产能满足物联网对传感器的巨大需求量和低成本要求。

mems微机电系统创新技术提高了超小型加速度传感器的分辨率，并实现其通用化，可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人应用等各种运动检测中，有助开发新的器件和系统。

该研究小组此前提出过利用金材料将mems加速度传感器的砝码体积削减至十分之一以下的方法。此次以该方法为基础，通过重叠多层金层形成mems结构，增加了单位面积的砝码重量，与以往相同尺寸的传感器相比，灵敏度提高百倍以上，噪声降至十分之一以下。

2.新型光纤加速度传感器可实时监测火车轨道缺陷

近日，香港理工大学的研究人员们开发了一种用于测量火车加速度和振动的新型传感器。这款新型光纤加速度传感器可检测到的频率，是传统光纤加速度计的两倍多，还可与人工智能相结合，以防止铁路事故和灾难性的火车出轨。另外，该加速计还可用于建筑物和桥梁的结构健康监测，以及飞机机翼的振动测量。 这款新型光纤加速度计采用了一种保持偏振的光子晶体光纤，图自osa期刊网站。

研究人员介绍说，每年火车事故都会导致严重的交通事故，这款新型光纤加速度传感器可用于实时监测铁路轨道或火车的缺陷，在事故发生前查明问题所在。

在这项研究中，研究人员使用了一种商用的保偏光子晶体光纤，并基于此设计制造了一种更小外径、更低弯曲损耗、更高双折射的新型光纤，所有这些都将使他们能够制造出一个更小、灵敏度更高的加速度计。这些新的加速度计可以提供数据，支持铁路行业实施人工智能，从而开启新的传感和监测可能性。虽然铁路监控，是光纤传感与人工智能结合的一个很好的例子，但在未来，这种结合在其他一些行业和应用领域也很有前景。

3.videalert推出用于监控空气质量的传感器

videalert宣布推出新一代空气质量监测传感器，该传感器集成了气体和颗粒物质传感器。这些传感器利用videalert现有的基础设施实时传输读数、提供即时测量结果、显示关键位置的污染程度。 来自新设备的空气质量数据可以与交通状况相关联，以促进清洁空气区域

videalert设备采用颗粒物质传感器，采用最新的光学技术和先进的传感器融合算法，可感知和计数1-1800μgm3的空气中颗粒。为确保可靠运行，传感器基于光散射，并采用全玻璃密封，以保护内部机构免受有害的大气影响。

该设备旨在与videalert的rds wan单元集成，将捕获的传感器数据传输到videalert的数字视频平台，“可视化”显示白天和夜晚不同时间的颗粒物质水平。

来自传感器的数据可与来自已安装的闭路电视摄像机的执法数据相结合，以加快采用移动交通执法限制，包括清洁空气或低排放区域。