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加速度传感器灵敏度提高百倍以上
来源:科技日报 发表于 2020/7/1

科技日报消息,东京工业大学校长益一哉等人与ntt尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的mems(微机电系统)加速度传感器,与以往相同尺寸的传感器相比,灵敏度提高百倍以上,噪声降至十分之一以下。这一创新技术实现其通用化,可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人(13.820, 0.15, 1.10%)应用等各种运动检测中,有助开发新的器件和系统。

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